真空阴极电弧沉积相关论文
采用XPS方法研究了TiMeXN多元膜内各元素的化学状态 ,结果表明 ,添加元素改变了TiN中Ti元素特征峰的位置和形状。首先 ,使Ti、N峰......
采用真空阴极电弧沉积技术,在4组表面粗糙度不同的Cr17Ni2钢基体上制备Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜.采用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度......
为了提高TiN涂层刀具的耐磨性,采用钛铝合金靶,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层.对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测......
采用真空阴极电弧沉积技术在1Cr17Ni2马氏体型不锈钢表面沉积Ti／TiN／Zr／ZrN多层膜。研究对比了在室温下膜层试样与基体试样的旋转弯曲......
以氮气为反应气体 ,用真空阴极电弧沉积法沉积了CNx膜 ,并利用金相显微镜、Auger电子谱仪、FTIR及XRD对其进了分析。结果表明 :真......
采用真空阴极电弧沉积技术 ,在纯钛球顶高音扬声器振膜上镀类金刚石膜 ,成为类金刚石 /钛复合振膜 .研究了钛基体的材质、厚度、振......
采用多靶位真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面制备24周期的Ti-TiN-Zr-ZrN软硬交替多元多层膜。用扫描电镜、X射线衍射仪、显......
用真空阴极电弧(VAC)法和等离子体化学气相(PCVD)沉积法制备了类金刚石碳(DLC)膜，研究了通过不同制备方法和工艺参数制备DLC膜的表......
