波长在13.5nm的极紫外光刻技术作为传统光刻技术的延续,已被认为是下一代最先进的光刻技术之一。激光产生等离子体(LPP)方法在产生......

激光诱导击穿光谱(Laser-induced breakdown spectroscopy,LIBS)技术目前己应用于EAST托卡马克的第一壁元素原位在线诊断,包括壁的......