石英晶体振荡法相关论文
石英晶体振荡监控光学薄膜厚度是直接监控光学薄膜物理厚度的方法,与工作波段无关,设置简单,各种厚度皆可控制,易于实现自动控制,......
在电子束蒸发沉积制备ZrO2薄膜的过程中,采用石英晶体振荡法监控膜厚和沉积速率。用NKD7000分光光度计测量了ZrO2薄膜的折射率和膜......
石英晶体振荡监控光学薄膜厚度是直接监控光学薄膜物理厚度的方法,与工作波段无关,设置简单,各种厚度皆可控制,易于实现白动控制,将会越......
为了实现阴极蒸发定量测量,本文发展了一种基于石英晶体振荡原理的动态测试方法.研究表明,在选用高质量石英晶振片和对其进行强制......
介绍了基于石英晶体微天平(QCM)技术的石英晶体振荡法的基本原理和气体中微量水分检测的公式,总结了石英晶体振荡法在气体中微量水......
给出了石英晶体振荡法监控膜厚的基本原理,在相同的工艺条件下分别用光电极值法和石英晶体振荡法监控膜厚,对制备的增透膜的反射光......