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硅微梁结构相关论文
电场中微梁结构的建模与分析
该论文研究硅微梁结构在平板电容器组成的电场中的振动情况.对于物体在线性力作用下的振动情况,已经有了成熟的解法.但是,在MEMS微......
学位
电场
硅微梁结构
振动
传感器
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