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硅氧氮薄膜相关论文

SiOxNy薄膜退火过程中N元素的流失对于Si结晶的影响

通过不同的溅射工艺制得了3组SiOxNy薄膜样品,并进行了不同的退火工艺。在退火后的样品分析结果中发现了薄膜中的N流失现象,并且对......

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氮流失硅纳米晶硅氧氮薄膜退火 Nitrogen＇s fugacity Si nanocrystal SiOx Ny films annealing

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