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硅片表面清洗相关论文

金刚石膜电化学清洗硅片表面有机沾污的研究

采用金刚石膜电极的电化学方式在专用水基清洗剂中不断产生强氧化剂过氧焦磷酸根离子（P2O8^4-），并将此方式作为金刚石膜电化学清洗工......

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有机沾污硅片表面清洗掺硼金刚石膜电极强氧化剂微粗糙度电化学清洗 organic contaminationssilicon wafer surface

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