采用金属蒸汽真空弧(MEVVA)离子注入机引出的Si离子进行了聚酯薄膜(PET)改性研究,注入后的聚酯膜表面结构发生了很大的变化.用透射......

因良好的射频性能，高阻SOI(High-ResistivitySilicon-on-Insulator,HR-SOI)被广泛应用于射频集成电路(RFICs)。通过提取共面波导传......

SOI材料以及SOI器件及有良好的抗单粒子效应和瞬间辐射的能力，但绝缘埋层的存在使得其抗总剂量能力受到限制。在埋层中注入硅离子被......