硅薄膜生长相关硕士博士期刊学术论文

硅基材料作为一类极其重要的材料，从非晶硅薄膜、多晶硅薄膜到纳米晶硅薄膜，以及多种硅纳米结构，长期以来一直得到人们的高度关注。近......