硅谐振相关硕士博士期刊学术论文

<正> 本届展览会参展的各种传感器,从测量参数看主要分为压力、加速度、流量、液位和温度五大类,广泛用于工业过程测控系统.从技术......

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介绍一种新型的压力传感器，即静电激励电容拾振的硅谐振压力微传感器。该传感器在可靠性，测量精度，体积，重量等方面都有传统的传感器所......

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硅谐振压力传感器激励

技术开发单位中国科学院电子学研究所技术概述高精度压力传感器采用先进的换能机制,利用单晶硅的良好机械特性,将压力的作用应力转......

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压力传感器硅谐振温度自补偿

<正> 一、引言微力传感器在微量称重、液体表面张力分析以及生物体微组织力测量等领域具有广阔的应用前景。我国以前自主研制的微......

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微力传感器硅谐振电化学腐蚀

<正>先进传感器是指采用最新技术研制的传感器。这类传感器具有鲜明的特点,已引起人们广泛的关注。有些先进传感器已经从实验室研......

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