碱性氟化物溶液相关硕士博士期刊学术论文

本文用碱性氟化物溶液对单晶硅（100）表面进行了处理。结果发现其表面完全布满了类似金字塔的小凸起。在整个腐蚀过程中，小凸起随时问......