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近几十年来，随着高新技术的高速发展,对材料表面性能的要求愈来愈高。陶瓷纳米薄膜由于其高硬度、耐高温，耐磨减摩能力，涂层有望满足......
过渡族金属氮化物(MeN)薄膜具有高硬度、低摩擦系数及良好的抗磨损性能，在刀具、耐磨部件等众多工业领域得到广泛应用。随着现代制......
气敏传感器作为新型敏感元件传感器,今年来有了很大的发展。薄膜型气敏材料以其独特的微观结构和物理、化学性能,优良的表面特性主......
在玻璃衬底上通过磁控反应溅射法，利用纯金属Zn靶，在N2-Ar等离子体氛围中制备出氮化锌薄膜。X射线衍射谱表明氮化锌具有（40O）择优取向，......
利用磁控反应溅射法在PET基底上制备了纳米TiO2抗菌薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)对制得的溅射膜的微观形貌进行了表征,发现采用磁......
为了制备光学性能良好的AlN薄膜。采用磁控反应溅射法制备了氮化铝（AlN）薄膜，利用椭圆仪、分光光度计、傅立叶变换光谱仪对AlN薄膜进......
