磁控溅射沉积法相关论文
通过选择合适的放电驱动频率,调控离子能量、离子通量、等离子体密度、电子温度,来沉积有不同结构特性的硅薄膜,成为调控薄膜结构......
采用磁控溅射沉积法在微纳光纤表面上镀一层纳米级厚度的铋薄膜,制备了一种微纳光纤-铋膜结构的可饱和吸收体.在1.5μm处的非线性......
