离子束源相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

离子束源相关论文

氮气放电在氮掺杂及氮化物合成中的应用

氮化物由于其在各个领域(如半导体，环境，能源等方面)都展现出其优良的特性和广阔的应用前景，一直以来都是重要的研究对象。本文研制了......

学位

离子注入二氧化钛光催化碳氮复合材料金刚石薄膜离子束源脉冲放电

矩形射频ICP离子束源天线设计

为了更好地提高引出离子束的均匀性,对离子束刻蚀用矩形射频电感耦合等离子体(ICP)离子束源提出了三种线圈的设计方法,并对这三种......

期刊

离子束源电感耦合等离子体天线

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