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本文以高速钢与镁合金与磁控溅射薄膜过渡层的结合强度为研究重点,利用SEM,表面轮廓仪,划痕仪等方法研究了离子清洗工艺参数对高速......
介绍了设备的结构、组成及工作过程,对新型矩形双平面磁控溅射阴极及有关的各阴极进行了分析、比较.......
期刊
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介绍了离子清洗技术在提高980nm半导体激光器可靠性方面的应用.外延片在空气中解理后,半导体激光器的腔面会吸附上碳和氧等杂质.腔......
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为提高高功率激光薄膜的抗激光损伤能力,研究了定向离子清洗对玻璃基片表面性质的影响。用End-Hall型离子源在不同清洗参数下对K9......
