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等比刻蚀相关论文

基于移动掩模曝光的聚酰亚胺连续微结构刻蚀工艺研究

为实现在聚酰亚胺薄膜上制备连续面形的微透镜结构，开发了一种薄膜光刻刻蚀的工艺方法．首先利用移动掩模曝光得到连续面形的光刻胶微......

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微透镜移动掩膜曝光反应离子刻蚀等比刻蚀聚酰亚胺各向异性光学特性 Micro-lens Moving mask Reactive ion etchin

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