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单双频感性耦合氩等离子体的实验研究
射频感性耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)源具有放电气压低、等离子体密度高和装置结构简单等优点,已经成为了工业应......
学位
感性耦合等离子体
单频放电
双频放电
等离子体密度
等离子体均匀性
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