等离子体射频电位相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

等离子体射频电位相关论文

电容耦合的抑制对感应耦合放电等离子体的影响

感应耦合等离子体(ICP)是微电子工业刻蚀高精度沟槽结构的首选高密度等离子体源.研究ICP的电特性与等离子体电学参量的变化显得非......

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