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研究了射频电感耦合等离子体RF-ICP低温氮化304奥氏体不锈钢过程中离子束流的重要作用。带有负偏压的不锈钢样片被插入到射频电感......
通过对40Cr钢氮化处理的显微组织观察、硬度测量、元素分布情况测定、耐磨性的分析和表征,提出一种提高塑料模具表面硬度和耐磨性的......
在等离子体增强化学气相淀积(PECVD)系统中,采用等离子体氧化和等离子体氮化的方法,在单晶硅表面上成功制备厚度小于10nm的超薄硅......
在0.1μm级的Si-CMOS器件及其集成电路中,作为替代传统SiO2栅介质的首选材料,超薄SiOxNy膜已被广泛研究和应用.本文介绍了近几年Si......
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目的研究不同复合涂层的结构及其对力学性能的影响。方法采用等离子体增强磁控溅射系统在奥氏体不锈钢表面分别进行等离子体氮化、......
运用正交试验法,研究1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢等离子渗氮工艺。分析影响渗氮层结构和性能的主要工艺因素,获得渗氮工艺最优化参数。......
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