等离子体辅助化学气相沉积相关论文
采用等离子体源离子注入和电子回旋共振-微波等离子体辅助化学气相沉积技术相结合的方法在Si衬底上制备出了性能良好的类金刚石膜.......
该文分别用直流、脉冲直流和微波等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术得到了Ti—si—N、Ti—B—N及Ti—Al—si—N纳米复合超硬薄膜......
<正> 探索将气相沉积氮化钛技术用于工模具和精密零部件的表面力化学强化和功能优化已有近30年的历史。2000年美国金 属学会将唯一......
聚四氟乙烯结构氟碳聚合物（Polytetrafluoroethylene-like fluorocarbon，PIFE-like FC）薄膜具有超低介电常数、高疏水性和生物相容性......
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会议
目的探讨使用脉冲微波表面波等离子体辅助化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)材料表面沉积类金刚石薄膜作为阻隔层的可......
对在不锈钢和玻璃衬底上沉积的μc-Si：H薄膜进行了拉曼光谱和扫描电子显微（SEM）分析。拉曼分析显示在相同的工艺参数下，玻璃衬底上沉积......
TiNi形状记忆合金被认为是最有应用潜力的生物医用金属材料,但是,作为植入人体的材料,它存在形状记忆相变点随成分大幅波动和合金......
本文的主要内容是利用辉光等离子体辅助化学气相沉积法(GPCVD)和脉冲激光沉积法(PLD)在硅衬底上制备垂直排列的碳氮纳米锥阵列(CNN......
针对硫系玻璃（IRG204）的低软化点特点,为研究等离子体辅助化学气相沉积法（PECVD）在硫系玻璃基底低温沉积薄膜的可行性以及工艺条件,通......
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