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粗、精两级驱动相关论文
三维精密位移系统的设计
为满足精密位移的需要,研究开发了一种大行程、纳米级和计量型三维精密位移系统。采用模块化结构设计,即3个方向的驱动机构均采用......
期刊
三维精密位移系统
结构设计
粗、精两级驱动
大行程纳米级两级驱动三维精密位移系统的设计
采用粗精两级驱动的方式设计了大行程纳米级三维精密位移系统。位移系统的粗驱动通过采用PID自适应控制器控制伺服电机加精密丝杠......
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三维精密位移系统
粗、精两级驱动
闭环控制
纳米级
计量系统
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