紫外光刻微电铸脱模技术相关硕士博士期刊学术论文

为实现微系统产业化开发适用于微型零件操作和装配的微夹钳，采用电热驱动方式、V形梁阵列式电热驱动器为钳体部分提供输入位移，钳体......