纳米定位与扫描平台相关论文
【摘要】 针对纳米定位与扫描平台具有的迟滞特性，使得运动平台输出位移变差的问题，文章基于Bouc-wen模型建立了纳米与扫描平台的模......
纳米定位技术是前沿科学、工程技术领域的关键技术之一。纳米定位技术通常是以纳米定位与扫描平台控制系统的形式来实现,而对于纳......
