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纳米晶金刚石膜相关论文

热阴极直流辉光等离子体化学气相沉积法制备纳米晶金刚石膜的研究

采用热阴极直流辉光等离子体CVD方法,在氩气/甲烷/氢气混合气氛中制备出纳米晶金刚石膜,研究不同氩气/氢气流量比对纳米晶金刚石膜......

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纳米晶金刚石膜热阴极直流辉光等离子体化学气相沉积氩气/甲烷/氢气混合气

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