聚焦离子束相关论文
使用聚焦离子束制备含有贯通纳米孔的石英玻璃平面TEM试样时，会出现试样硬度高、导电性差、试样片厚度过大等问题。改变试样U型切割......
由于聚焦离子束（Focused Ion Beam,简称FIB）显微镜的最新运用,材料科学得以迅速发展。钢铁行业中,聚焦离子束技术不仅可以不断将涂料......
电极材料作为锂离子电池的关键结构组成部分，其结构稳定性直接决定着锂离子电池的电化学性能。由于电极材料具有对空气、水分敏感，不......
BCC/B2高熵合金中体心立方结构（body centered cube, BCC）纳米粒子影响其软磁性能和高温力学性能。然而，扫描电子显微镜-能量色散谱仪......
在聚焦离子束溅射刻蚀工艺中,灰度图常常被用来加工三维曲面微结构,通过定义每个像素点的灰度值控制离子入射点的驻留时间。灰度值......
量子材料是近年来凝聚态物理学中对具有层展现象的各类材料的一个总体描述,包括超导体,自旋液体,重费米子,拓扑绝缘体,拓扑半金属......
微机电系统（MEMS）技术在展现出巨大潜在应用前景的同时也给人们提出了一系列的挑战。首先,由于微纳尺度材料极小的物理尺寸,传统的制......
采用聚焦离子束制备了500nm和1.5μm周期两种结构,使GaN基LED光效显著提高。比较长、短周期光子晶体提高光效的程度、制备工艺、设......
光子晶体是一种介质常数周期性变化的人工介质材料,具有光子带隙和光子局域两个主要特征。光子晶体光波导是利用光子带隙特性传输......
对电子束蒸发方式镀制的HfO2/SiO2反射膜采用大口径激光进行辐照,采用激光量热计测量了激光辐射前后的弱吸收值。实验发现HfO2/SiO......
X射线具有能量高,波长短,穿透性强等特点,在显微成像邻域得到广泛应用和长足发展。其在显微成像邻域应用能够实现深的穿透能力,具......
石墨烯电学回路的制造是研究石墨烯本身的电学特性和将其应用在各种微纳电子器件中的基础。论文从机械剥离法制备石墨烯出发,采用......
圆弧刃金刚石刀具作为超精密切削加工中的重要组成部分,其刃磨质量将直接影响到对材料的加工质量和刀具的使用寿命。目前金刚石刀......
聚焦离子束加工作为一种微纳加工手段,可以用来制造纳米元件和微结构元件。研究了在多芯光纤的末端,使用聚焦离子束加工技术设计和......
小，还要更小 20世纪末至本世纪初，纳米技术的发展给传统艺术带来了巨大冲击。其中，一个重要的特征就是艺术作品的小型化与微型......
本文演示了运用精确电压衬度像技术实现原位电子束纳米刻蚀技术的精确定位,并运用该技术制作成具有悬挂结构的纳米开关。通过运用......
平衡液滴法(equilibrium shape measurement)是一种确定晶体-熔体界面能各向异性参数的有效方法。利用平衡液滴法测量单相固体中夹......
铬铁矿矿物包裹体可以记录其成岩成矿时物理化学条件(温度、压力等)、化学成分演化、熔/流体富集活动规律等关键信息.然而传统的二......
20世纪80年代末期,诞生了研究电子、原子和分子运动规律的纳米科学技术,从此之后,人们便将直接操纵排列原子和分子作为最终目标。......
该文对利用聚焦离子束分解(CH)CHPt(Ch)气体分子淀积Pt薄膜的过程和淀积的薄膜的性质进行了研究,并对该薄膜的淀积速率、淀积产额......
现代微电子业发展迅速，随着集成电路工艺走进亚微米、深亚微米领域，相应迅速发展起来一种新技术——聚焦离子束FIB。 采用镓液态......
聚焦离子束(FIB)是进行亚微米及深亚微米器件进行微分析和微加工研究的强有力工具。FIB淀积Pt薄膜是FIB集成电路修改的基本手段之......
微分析技术已经成为微电子产业发展的重要技术支柱，FIB结合了精细加工技术和微分析技术，具有在亚微米线度上的微细加工和高分辨率成......
1995年发现碳纳米管(carbon nanotubes,CNTs)具有发射电子的特性后,众多科研工作者被吸引到对其场发射性质的研究中[1]。笔者拟采......
随着集成电路的飞速发展，布线密度的急剧增加，互连线将要承载高达107A/cm2的电流密度。导致铜互连线上的RC延迟增大，散热能力减弱，电迁......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
聚焦离子束(FIB)技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。它突破了只......
采用热分析、光学显微镜技术、扫描电镜技术、聚焦离子束和能量色散谱分析方法研究Ce对Al-Si-Cu合金中α(Al)-Al2Cu共晶形貌的影响......
期刊
钨及钨合金因熔点高、蒸气压低、热传导率高、耐蚀性及热冲击性良好而使其在高温环境下广泛应用。但形状复杂的零部件加工(如车削......
库尔特原理是微粒检测的一种标准技术,而微纳尺度微孔的制造是库尔特原理的关键部分.本文采用聚焦离子束(FIB)技术进行固态微孔的......
介绍了利用聚焦离子束设备在多种半导体材料上成功研制的近红外波段二维光子晶体,给出了相关微加工结果,发现微加工的尺寸和理论设......
为了在所研制的二级透镜聚焦离子束系统中获得直径小于０．２μｍ的稳定束斑，并进行亚微米微细加工，分析了影响束斑大小及稳定性的因素，并着重......
聚焦电子束离子束双束系统由于其电子束与离子束同存于一个腔体内,可以使用电子束扫描直接了解欲加工样品的形貌并确定加工位置,转......
利用聚焦离子束刻蚀方法和电子束制版结合干法刻蚀方法制备了二维近红外波段光子晶体,发现两种方法都可以制备出均匀的二维光子晶......
本文对自主开发研制的一种可用于纳米聚焦离子束系统的液态金属Ga离子源进行了不同温度下发射特性实验,测定了在三种引出电压下不......
采用热分析、光学显微镜技术、扫描电镜技术、聚焦离子束和能量色散谱分析方法研究Ce对Al-Si-Cu合金中α(Al)-Al2Cu共晶形貌的影响......
为了从钢铁中提取各种夹杂物颗粒,考察了采用无水电解质的恒电位和恒电流的提取方法。结果认为,4%的MS[4%(V/V)甲基水杨酸-1%(m/V)......
介绍了一种用于高密度近场存储领域的新型微小孔径激光器(VSAL)。为了解决由腔面金属膜造成的激光器PN结短路的问题,在激光器中引......
分析了980 nm波长的光在透过制作在金膜上的亚波长周期性孔阵时的透射增强现象.通过建立中心带缺陷孔的三角晶格的孔阵模型,并采用......
由于聚焦离子束(Focused Ion Beam,简称FIB)显微镜的最新运用,材料科学得以迅速发展.钢铁行业中,聚焦离子束技术不仅可以不断将涂......
基于原子层沉积与聚焦离子束切割抛光相结合的工艺,提出了一种多层膜型波带片制备技术。利用耦合波理论计算出最外环宽为10 nm的Al......
倒装芯片封装是高性能器件的一种重要封装形式,其独特的封装形式为电路修改带来了新的挑战。文中结合芯片背面减薄技术、基于聚焦......
使用激光加工技术在单晶硅片表面制备带有500μm通孔的硅基盖板。本文将带有圆形通孔的盖板覆盖石英基底后,使用聚焦离子束穿过圆......
阐述了聚焦离子束技术的原理,介绍了离子与固体相互作用的计算机模拟方法.结合Tersoff-ZBL势函数,运用分子动力学方法,模拟能量为2......
利用聚焦离子束（focused-ion-beam，FIB）刻蚀在纳米厚的单晶硅悬臂梁表面来制备三维纳米螺旋．单端固支的悬臂梁在FIB刻蚀引入的应力下卷......
研究了纳米尺寸Si结构的热稳定性.采用Ga聚焦离子束技术在单晶硅表面刻蚀出纳米尺寸的条形光栅结构,在流动的Ar气氛保护下进行恒温......
针对TEM样品制备过程中离子束对样品的损伤所产生的“非晶化”影响进行分析和研究。在总结已有成果的基础上，得到一些新的突破：通过......
