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聚焦离子束化学气相沉积相关论文

运用聚焦离子束化学气相沉积的实时反馈控制制备悬臂三维纳米结构及其力学特性

聚焦离子束化学气相沉积法(FIB-CVD)是一种适合于制备三维微纳结构、制作微纳机电系统(MEMS/NEMS)的加工方法。但包括FIB—CVD在内......

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三维纳米结构悬臂结构聚焦离子束化学气相沉积实时反馈控制力学特性

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