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量子点阵光栅的FIB直写法制备及光学性能研究
X射线透射光栅在惯性约束核聚变激光等离子体诊断、空间X射线光谱分析、高分辨率光谱仪等方面具有重要应用价值。传统黑白光栅因衍......
学位
量子点阵光栅
聚焦离子束直写技术
单级衍射
光学性能
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