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脉冲调制放电参数相关论文
一维脉冲调制射频SiH4/N2/N2O放电的数值模拟研究
等离子体增强化学气相沉积技术作为沉积薄膜的一项关键的技术,被广泛应用于工业领域。在工业制备硅基薄膜中,氮氧化硅薄膜因为其综......
学位
CCP数值模拟
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