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蟹脚型挠性支承相关论文
蟹脚型微谐振器的横向振动分析
在结构和受力的对称性并非完全相同的认识基础上,建立了蟹脚型静电微谐振器横向振动的简化力学模型,分析了其蟹脚型挠性支承杆的受......
期刊
微型机械
静电谐振器
蟹脚型挠性支承
横向振动分析
MEMSElectro-static driven microresona torCrab-leg flex
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