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近年来,随着基础研究和加工制造技术的不断进步,微系统技术(微光机电一体化系统MOEMS)的研究得到迅猛的发展,这是一项多学科交叉的......
介绍了衍射微透镜阵列的设计原理与制作工艺方法 ,在此基础上运用部分刻蚀法研制出适用于 3～ 5 μm波长多相位 2 5 6× 2 5 6衍射微......
分析了基于标量衍射理论的位相型衍射微透镜的光学行为，结合等效媒质理论提出了二元衍射微透镜的一种新的亚波长结构近似设计方法。......
介绍了二元光学方法制作多台阶衍射微透镜的设计和工艺过程；分析了台阶侧壁倾斜对衍射效率的影响；提出了一种基于软刻蚀技术的复制和......
衍射微透镜具有会聚和色散功能,且体积小、易于集成和阵列化,是实现光谱成像仪和微型光谱仪的一种新型技术。光谱分辨率是评价衍射......
本文结合标量衍射理 论和等效媒质理论提出了二元衍射微透镜的亚波长设计新方法。根据标量理论位相量化的概 念，分析连续浮雕透镜的......
高灵敏度检测器是太赫兹科学与技术研究与应用的关键部件之一,在物体成像、射电天文、医疗诊断等研究领域具有广泛的应用前景。Nb5......
