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等离子增强磁控溅射技术与纳米复合结构涂层
本文介绍了等离子增强磁控溅射技术(PEMS)的基本原理,以及利用该技术所开发的纳米复合结构涂层,这种涂层的微观结构为纳米颗粒的复合......
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