超快激光加工相关论文
当前,超快激光加工技术研究的一个重要特点是覆盖领域广、发展速度快。特别是在消费电子产品、半导体行业以及航空航天等领域,超快......
近年来,空间光调制器被广泛应用到超快激光加工像差校正、多焦点平行加工、二维面加工、三维体加工、脉冲时空整形、结构光加工等......
实验研究了蓝色飞秒激光(1kHz,50fs,400nm)在105 Pa(标准气压)和10-3 Pa两种不同气压环境下,在单晶硅衬底的金属铬膜表面形成亚波长(-25......
以Derwent Innovation数据库收录的专利文献为基础,本文研究了全球超快激光加工领域专利申请的整体态势、重点技术布局、区域布局......