超精密气浮工作台相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

超精密气浮工作台相关论文

纳米级超精密气浮工件台振动特性分析

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期刊

超精密气浮工作台振动气固耦合动力学仿真

基于气体润滑静压工作台的若干关键技术

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学位

超精密气浮工作台环面节流空气静压导轨数值分析有限差分精度分析

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