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超精密硅片磨床相关论文
超精密硅片磨床进给系统爬行现象仿真及抑制
进给系统是超精密硅片磨床的核心部分,它的性能指标是影响硅片加工精度的关键因素。在各项性能指标中,进给系统的最小运动量与最小分......
学位
超精密硅片磨床
进给系统
爬行
动力学仿真
刚柔耦合
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