超纯氢气相关论文
用金属氢化物来提取超纯氢,经过多年来实践证明在技术经济上都是可行的.介绍了一套处理量达到400 nm3/h的金属氢化物氢气纯化装置.......
超纯氢气 (大于 6N)是半导体硅外延等工艺必备的工艺气体。文章介绍了利用超低温吸附的方法提纯大流量超纯氢气的工作原理 ,设备制......
在半导体集成电路制造工艺中 ,超纯氢气是必不可少的重要工艺气体。特别是在硅外延工艺中 ,氢气对工艺质量起着决定性作用。因此 ,......
