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超结构阵列相关论文
基于悬空结构的太赫兹探测器工艺研究
太赫兹技术作为最为瞩目的前沿技术之一,在国防、航天、医学、通信、食品、环境等领域具有广阔的应用前景。作为太赫兹系统的核心......
学位
太赫兹探测器
微测辐射热计
MEMS工艺
RIE刻蚀
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