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选择性外延生长相关论文
H2对UHV/CVD低温选择性外延生长Si1-xGex的影响
利用超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)成功实现了Si1-xGex的低温选择性外延生长.并研究了H2对选择性外延生长的影响及其作用机理.以SiH4和......
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选择性外延生长
UHV/CVD
SI1-XGEX
selective epitaxial growth
UHV/CVD
Si1-xGex
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