锂离子传导率相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

锂离子传导率相关论文

电子回旋共振等离子体辅助溅射沉积锂磷氧氮薄膜

用电子回旋共振（ECR）等离子体辅助射频溅射沉积法制备快锂离子传导的锂磷氧氮（LiPON）薄膜．X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、紫外可见......

期刊

锂磷氧氮薄膜溅射沉积电子回旋共振锂离子传导率 lithium phosphorus oxynitride r.f. sputtering electr

看过本文同时还关注