阴极多弧离子镀相关论文
采用阴极多弧离子镀膜技术,制备了3种不同沉积工艺的CrAlN涂层。利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、工具显微镜、球痕仪、洛式硬......
目的采用阴极多弧离子镀膜设备制备Al Cr N薄膜,研究适合实际工况的膜层性能和厚度。方法利用工具显微镜、扫描电子显微镜检测并分......
