静电结构耦合相关论文
为了解微机电系统中,静电结构耦合作用对微梳齿结构性能发挥的复杂作用,对三维微梳齿驱动器的静电结构耦合特性进行了研究,用有限......
介绍了利用ANSYS对受静电力之微小金属梁进行动态分析以了解其动态特性。金属梁所受到的变化静电力是由对分布于其下方的几个电极......
为了解微机电系统中,静电结构耦合作用对微梳齿结构性能发挥的复杂作用,对三维微梳齿驱动器的静电结构耦合特性进行了研究,用有限元方......