静电负刚度相关论文
静电负刚度谐振式加速度计（Electrostatic Frequency Modulation Accelerometer,EFMA）是一种新型微机电（Micro-Electro-Mechanical Sy......
为了实现高品质因数及低相位噪声的压控振荡器,结合硅微谐振器的静电负刚度效应,利用基于锁相环的谐振器闭环驱动检测电路搭建了微......
微机电(MEMS)加速度计是一种通过微机械加工工艺制作的新型微惯性敏感器件,相比于传统的加速度计,它具有尺寸小、成本低、功耗低的......
提出了一种基于激励-校准法的硅微陀螺仪实时模态匹配控制电路,利用了检测模态的幅度响应信号关于其谐振频率对称的特点,采用双边......
分析了影响加速度计分辨率的因素,在此基础上,通过采用深度反应离子刻蚀工艺获得大的敏感质量和小的电极间隙、采用电容变化量比枝......
