本论文采用双离子束溅射沉积方法制备了Si-SiOx、SiOx：C、SiOxNy复合薄膜，TEM及XRD的测试表明三种薄膜均为非晶结构，通过FTIR和XPS进......

采用PECVD方法分别沉积了SiO x∶H和SiOxNy∶H薄膜,测量了其荧光特性.在SiOx∶H薄膜中观察到300～570nm强荧光辐射带,并发现其中心位......