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非晶网络有序性相关论文
氢化非晶硅薄膜制备及其微结构和光电性能研究
氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜具有光吸收率较高、电阻温度系数较大、与Si半导体IC工艺兼容等特点,在微测辐射热计、太阳能电池、医疗仪器等......
学位
氢化非晶硅薄膜
等离子体增强化学气相沉积
电子束辐照
非晶网络有序性
光电性能
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