非硅微制造工艺相关硕士博士期刊学术论文

为了实现爆炸箔起爆器的集成化和批量化制备，研究了爆炸箔起爆器非硅微制造工艺技术。采用磁控溅射和光刻技术制备了桥箔，通过紫外厚......