非蒸散型吸气薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

非蒸散型吸气薄膜相关论文

ZrCoRE吸气薄膜的膜层结构与性能研究

为了研究膜层结构对非蒸散型吸气薄膜性能的影响,运用射频磁控溅射法(RF magnetron sputtering)制备了ZrCoRE单层膜和双层膜,其中......

期刊

ZrCoRE 非蒸散型吸气薄膜磁控溅射法膜层结构吸气性能

非蒸散型薄膜吸气材料研究进展

非蒸散型吸气薄膜是大型超高真空系统设备维持超高真空的重要材料,近来又成为基于物联网应用的MEMS器件维持可靠性和长寿命的关键......

期刊

真空维持技术非蒸散型吸气薄膜磁控溅射法纳米尺度精细结构多层膜功能化

看过本文同时还关注