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音圈电机驱动的X-Y精密伺服平台相关论文
面向X-Y精密伺服平台的鲁棒跟踪控制
随着超精密智能器件和执行机构的广泛应用,以及高性能数字系统的快速发展,超精密机电系统已逐步应用到高分辨率成像,半导体光刻加......
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音圈电机驱动的X-Y精密伺服平台
动力学建模
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