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陶瓷材料因其优越的使用性能,在微机械领域有着广泛地应用需求,但在陶瓷材料上进行特征尺寸在微米量级的微小结构或零件的微细加工......
氧化铝陶瓷材料具有高的硬度、耐腐蚀、耐高温、耐磨损等优点,在微机电系统中有广泛的应用前景。预烧结是指在低于完全烧结的温度......
陶瓷材料具有高强度、高硬度、耐高温、耐磨损、抗腐蚀等很多优异性能,随着微机电系统的发展,微小型零件需求的增加,陶瓷制品的应......