高数值孔径相关论文
高光谱成像技术能够同时获取地物的图像和“指纹”光谱信息,在地物精确分类和识别等应用方面有巨大优势。目前,高光谱成像技术已广......
光子筛是一种新型的纳米成像元件，具有高分辨、质量轻、体积小及易复制的优点，对于成像系统轻量化以及极短波谱区成像具有重要意义。......
Tight focusing properties of partially coherent radially polarized vortex beams are studied based on vectorial Debye the......
设计了衍射光学元件，利用该元件对入射的角向偏振拉盖尔-高斯矢量光束进行调制，在高数值孔径聚焦透镜的焦平面附近获得了沿光轴方向......
利用Richards-Wolf矢量衍射公式,获得圆偏振涡旋贝塞尔-高斯光束经具有初级慧差高数值孔径系统聚焦后的三维光场复振幅函数,模拟了......
依据角向偏振涡旋光束强聚焦有径向分量的结论,修正了角向偏振涡旋光束的强聚焦场公式,重新研究了高阶角向偏振拉盖尔高斯涡旋光束......
光学探测单个不发光的微纳米粒子在生物医药与纳米光电子学等领域具有重要研究价值,例如重大疾病的早期诊断中可作为分子探针在细......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
为有效控制成像线宽,研究了高数值孔径光学光刻中的体效应并提出一种光刻胶膜层优化方法,利用成像中的摇摆效应平衡体效应对成像线......
根据矢量衍射理论 ,提出了一种用于提高高数值孔径显微物镜纵向分辨率的可调二元环形光瞳滤波器 ,通过改变滤波器的环半径获得不同......
高数值孔径光学光刻中，成像光分布在较大的入射角范围内，传统顶层抗反膜优化方法只对垂直光来减小光刻胶上表面反射率，难以保证光在整......
利用里查德-沃耳夫（Richards-Wolf）矢量衍射积分模型,推导了圆柱偏振贝塞耳-高斯（CPBG）光束经高数值孔径透镜聚焦的光场表达式,并用数......
在高数值孔径光学光刻中，成像光入射角分布在较大范围内，传统的单底层抗反膜不足以控制抗蚀剂一衬底界面反射率（衬底反射率）。考虑照明......
利用石英晶体的旋光效应产生矢量偏振光束,石英晶体被分成圆心角相同的12个扇区,每个扇区设计有特定的厚度,依据晶体的旋光性质可......
研究了部分相干圆偏振贝塞耳一高斯光束经高数值孑L径透镜的聚焦特性.基于德拜矢量积分理论,分别推导出了部分相十圆偏振涡旋光束......
通过柱坐标下的的分析方法,获得径向偏振和方位角偏振贝塞耳-高斯光束经具有球差的高数值孔径系统聚焦后的三维光场分布函数,根据......
利用Richards—Wolf矢量衍射积分公式，获得线偏振贝塞耳-高斯光束经具有初级彗差的高数值孔径系统聚焦后的三维光场复振幅函数，根据......
利用矢量衍射理论，研究了高数值孔径下高斯光束的超分辨特性，对可以实现超分辨的二环和三环相位结构进行了优化求解，分析了环带半径和......
基于矢量衍射理论和格林函数法，利用坐标变换分析高数值孔径条件下二次谐波强度随胶原纤维取向的变化规律．研究结果表明，当胶原纤维垂......
以飞秒激光器为光源,搭建记录测量聚焦光斑的光学实验系统,研究飞秒径向偏振光紧聚焦特性.数值模拟表明当物镜数值孔径为0.9,波长......
利用Richards-Wolf矢量衍射积分模型,推导双环角向偏振光束经过环状高数值孔径透镜聚焦后聚焦区域的偏振特性,并用数值计算分析各......
光波在高数值孔径聚焦下焦点区域光强分布呈现出的特殊性质已经被应用到光学显微成像、微粒控制、光存储等领域中.本文基于矢量Deb......
利用理查德-沃耳夫矢量衍射积分,分析了初级球差对圆偏振涡旋贝塞耳-高斯光束聚焦光场的影响,获得不同球差系数下的光强分布.结果......
为了揭示高数值孔径光学系统在多重初级像差共同作用时受到的影响，基于衍射理论，研究了多重初级像差，特别是彗差、象散和球差对汇聚高......
浸没式光刻要实现32纳米技术乃至进一步向下延伸，在高折射率液体，光学镜头以及光刻胶等关键技术领域需要要不断取得突破性的进展。为......
在光学系统偏振传输理论的基础上,对一高数值孔径(NA)的透射式光刻系统进行了偏振分析,分析中考虑了系统的实际特性——现有工艺水......
随着成像光学系统分辨率的不断提高,电场矢量的偏振方向对成像质量的影响变得越来越不可忽视。利用几种不同形式的传输矩阵计算偏......
采用光的矢量衍射理论,研究了场振幅为高斯分布的平面波入射到无球差高数值孔径物镜上,折射率失配对共焦显微术的影响,并进行数值......
用于制造大规模集成电路的核心设备是光刻机,光刻机的核心部件是投影光刻物镜。为了将掩模图形近似完美地投影到光刻胶上,光刻物镜......
径向偏振光具有更强的聚焦区纵向电场和更细锐的焦斑,这一独特的性质为其带来较之线偏振光和圆偏振光更大的应用价值,因此正逐渐获......
本文根据德拜矢量积分理论,研究了角向偏振高阶拉盖尔高斯光束经过衍射光学元件(diffractive optical elements,DOE)和高数值孔径......
制造集成电路的关键要求,是对特征尺寸和缺陷的控制。但是,由于光的衍射行为的限制,传统光学成像的分辨力,大约只有所使用光波长的......
波带片是一种重要的衍射光学元件，随着二元光学技术和微电子加工技术的发展，人们已能用套刻、激光直写或电子束直写的方法制作多台阶......
