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高精密显微数控工作台是IC晶片自动光学检测的核心部件之一,其运动精度直接影响光学检测设备的分辨力,工作台的运动速度和加速度会......
用球杆仪和光栅尺同时测量了两轴联动精密工作台的走圆运动.结果显示,光栅尺的主要误差源是测量噪声和定位误差,球杆仪的主要误差......
经过对数控立式车床高精度工作台装配工艺方法的深入研究,总结了一套保证大型高精度工作台装配精度的工艺方法,可以有效确保工作台......
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