高纯三氯氢硅相关论文
电子级三氯氢硅是半导体行业不可或缺的重要电子特种气体原材料,国内目前主要依赖进口。随着我国集成电路行业快速增长,对电子级三......
针对多晶硅生产中高纯三氯氢硅精馏提纯过程能耗较高的特点，分别将热泵和差压热耦合精馏节能工艺应用到高纯三氯氢硅精馏提纯过程中......
阐述了测定高纯三氯氢硅中十三种杂质的方法,操作过程简单、快速、高效,准确度较高,能很好地满足对高纯三氯氢硅中杂质的质量控制......
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将高纯三氯氢硅中的含碳物质在氢气还原炉内转化成甲烷,利用配备氢火焰离子化检测器的气相色谱仪进行测定,最后换算成总碳的含量。......
