A向蓝宝石相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

A向蓝宝石相关论文

A向蓝宝石化学机械抛光研究

以纳米氧化铝为磨料对A向蓝宝石进行化学机械抛光,实验中考察了磨料浓度、磨料粒径、抛光时间、抛光压力以及NH4F浓度等因素对A向......

期刊

A向蓝宝石化学机械抛光氟化铵材料去除速率表面粗糙度

硬脆材料（蓝宝石、微晶玻璃）晶片化学机械抛光研究

第一章,概述了化学机械抛光技术与应用现状,综述了影响化学机械抛光结果的关键因素及机理。随后概述了硬脆材料（A向蓝宝石和微晶玻......

学位

化学机械抛光微晶玻璃 A向蓝宝石材料去除速率表面粗糙度

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